Assessing the Composition of Wide Bandgap Compound Semiconductors by Atom Probe Tomography: A Metrological Problem
L. Rigutti
(1)
,
L. Mancini
(1, 2)
,
E. Di Russo
(1)
,
I. Blum
(1)
,
F. Moyon
(1)
,
W. Lefebvre
(1)
,
D. Blavette
(1)
,
F. Vurpillot
(1)
,
E. Giraud
(3)
,
J.F. Carlin
(3)
,
R. Butté
(4)
,
N. Grandjean
(4)
,
N. Gogneau
(5)
,
L. Largeau
(6)
,
F. H. Julien
(5)
,
M. Tchernycheva
(7)
,
J.M. Chauveau
(8)
,
M. Hugues
(8)
1
GPM -
Groupe de physique des matériaux
2 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Orsay]
3 Institute of Condensed Matter Physics [Lausanne]
4 EPFL - Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne
5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis]
6 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
7 IEF - Institut d'électronique fondamentale
8 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Orsay]
3 Institute of Condensed Matter Physics [Lausanne]
4 EPFL - Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne
5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis]
6 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
7 IEF - Institut d'électronique fondamentale
8 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
L. Rigutti
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I. Blum
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W. Lefebvre
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D. Blavette
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F. Vurpillot
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R. Butté
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N. Grandjean
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N. Gogneau
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